Použitie neónového plynu
Spomedzi všetkých je dnes najdôležitejšie použitie neónu v ultrafialových (UV) laseroch, nazývaných excimerové lasery. Termín excimer je skratka pre excimer dimer. Tento laser je vhodný najmä na vytváranie čistých a presných rezov v rozsahu stoviek nanometrov. Keďže UV laser neprodukuje žiadne teplo, nespôsobuje zjazvenie vďaka čomu je populárny pri laserovej operácii očí (LASIK). Pri výrobe polovodičov sa používa na litografiu. Pretože jeho vlnová dĺžka je taká krátka, môže vytvárať vzory v čipe plátku až do 193 nanometrov.
Air Products' laserové premixové zmesi pozostávajú z veľmi reaktívnych, toxických a korozívnych materiálov, ako je fluór a xenón. Vytvorenie presného a stabilného laserového premixu je veľmi dôležité na zabezpečenie konzistentného laserového výstupu, ktorý vedie k optimálnym a reprodukovateľným výsledkom. Je tiež dôležité zabezpečiť bezpečnosť, aby nečistoty nereagovali so zložkami za vzniku nebezpečných plynov, ako je fluorovodík.
Vzácne plyny
Vzácne plyny, tiež známe ako vzácne plyny, sú najinertnejšie a najreaktívnejšie prvky, aké človek pozná. V životnom prostredí sa nachádzajú vo veľmi nízkych koncentráciách a sú vyrábané spoločnosťou Air Separation Units (ASU). Vďaka svojim jedinečným chemickým vlastnostiam pre ne odborníci našli veľmi nové a zaujímavé aplikácie.
Xenón pre výrobu polovodičov a pamäťových čipov
Xenón sa používa na leptanie a nanášanie mikročipov pri výrobe polovodičov, ako atmosféra, plazma, tak aj ako zdroj iónového lúča pre procesy leptania a nanášania. Xenón použitý v tomto procese musí byť veľmi čistý, pretože akékoľvek nečistoty skončia kontamináciou kremíkového substrátu alebo reakciou s procesnými chemikáliami, ako je fluór, za vzniku jedovatého a vysoko korozívneho fluorovodíka (HF). Ako globálny líder v servise pre elektronický priemysel sa xenón Air Products' vyrába v našom modernom závode na elektroniku, aby sa zabezpečila lepšia kvalita. Môže byť použitý v excimerovom laseri, laserových vyrovnávacích plynoch, leptaní DRAM a 3D NAND a plazmových zobrazovacích paneloch.
99,9999 % a ďalšie plyny s mimoriadne vysokou čistotou pre vaše potreby
Od veľkých zariadení na separáciu vzduchu až po plyny s mimoriadne vysokou čistotou 6.0, Air Products dokáže splniť vaše potreby.