Kvalita a efektívnosť pri výrobe vzácnych plynov
Vzácne plyny sa tak nazývajú, pretože sú vo vzduchu prítomné vo veľmi malých množstvách.
Xenón je vzácny s iba 90 gramami z 1 milióna kilogramov zemskej atmosféry. Komerčne sa získava iba z veľkých zariadení na separáciu vzduchu, ktoré produkujú viac ako 1000 ton kyslíka denne.
Air Products má účinné čistiace technológie potrebné na odstránenie nečistôt ako argón a dusík, ktoré sú veľmi inertné.
Vzácne plyny plníme do tlakových fliaš v našich závodoch s vysokou čistotou v Ázii, aby sme ich mohli použiť v segmentoch priemyslu s vysokou hodnotou.
Xenón pre výrobu polovodičov a pamäťových čipov
Xenón sa používa na leptanie a nanášanie mikročipov pri výrobe polovodičov, ako atmosféra, plazma, tak aj ako zdroj iónového lúča pre procesy leptania a nanášania. Xenón použitý v tomto procese musí byť veľmi čistý, pretože akékoľvek nečistoty skončia kontamináciou kremíkového substrátu alebo reakciou s procesnými chemikáliami, ako je fluór, za vzniku jedovatého a vysoko korozívneho fluorovodíka (HF). Ako globálny líder v servise pre elektronický priemysel sa xenón Air Products' vyrába v našom modernom závode na elektroniku, aby sa zabezpečila lepšia kvalita. Môže byť použitý v excimerovom laseri, laserových vyrovnávacích plynoch, leptaní DRAM a 3D NAND a plazmových zobrazovacích paneloch.
Integrovaný prívod plynov
Od veľkých zariadení na separáciu vzduchu až po plyny triedy 6.0 s mimoriadne vysokou čistotou, Air Products ponúka flexibilné možnosti dodávky, ktoré uspokoja všetky vaše potreby.
Otázky? Máme odpovede.
SDS Library
Our Safety Data Sheet (SDS) library allows you to search and find the SDS you need--in the language you select.